réacteur chauffant mocvd avec induction
Les réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD) de chauffage par induction sont une technologie visant à améliorer l’efficacité du chauffage et à réduire le couplage magnétique nocif avec l’entrée de gaz. Les réacteurs MOCVD à chauffage par induction conventionnels ont souvent la bobine d'induction située à l'extérieur de la chambre, ce qui peut entraîner un chauffage moins efficace et une interférence magnétique potentielle avec le système d'alimentation en gaz. Récent … En savoir plus